Notizia

Jun 11, 2023

INFICON dettaglia il suo magnesio

Questo è un post sponsorizzato da INFICON I produttori di OLED hanno lottato con la deposizione di materiali di magnesio durante il processo di produzione degli OLED. INFICON si è sviluppata ad alto livello

Questo è un post sponsorizzato da INFICON

I produttori di OLED hanno avuto problemi con la deposizione di materiali di magnesio durante il processo di produzione degli OLED. INFICON ha sviluppato cristalli sensibili al magnesio di alto livello specifici per la deposizione OLED, che riducono significativamente il ritardo iniziale nel monitoraggio del magnesio, pur mantenendo elevata stabilità e riproducibilità.

La seguente nota applicativa descrive in dettaglio i cristalli INFICON per la deposizione OLED, il processo di sviluppo e gli esperimenti eseguiti dall'azienda per caratterizzare e valutare la qualità dei cristalli per assicurarsi che offra la migliore soluzione possibile per il settore OLED.

La microbilancia a cristalli di quarzo (QCM) è uno dei prodotti INFICON più importanti per la fabbricazione di diodi organici a emissione di luce (OLED) e di dispositivi ottici, nonché per molte altre applicazioni. La variazione della frequenza di risonanza del QCM dovuta al carico di massa da parte dei film sottili ne consente l'utilizzo come surrogato per correlare la velocità di accumulo dello spessore del film su un substrato. Il design dei cristalli per sensori ad alta precisione INFICON si è basato sulla richiesta di molti produttori di OLED™ di cristalli più stabili e meno inclini a cali di attività (instabilità nel segnale di attività) nel controllo della deposizione di materiali OLED. Le prestazioni sul campo dei cristalli del sensore ad alta precisione INFICON hanno dimostrato di migliorare la stabilità della velocità con cali di attività quasi estinti in termini di numero di eventi e di entità quando si verificano raramente. Fare riferimento alla nota tecnica del sensore ad alta precisione Crystal Line trovata utilizzando questo collegamento.

Sebbene i cristalli sensore ad alta precisione INFICON offrano un'elevata stabilità per scopi generali di monitoraggio della deposizione, alcuni materiali di deposizione non interagiscono bene con l'elettrodo metallico sul cristallo. Il magnesio (Mg), un importante materiale catodico nei processi di produzione degli OLED, rappresenta uno di questi materiali. In generale, gli attuali cristalli QCM standard del settore impiegano molto tempo, nell’intervallo da decine di minuti a diverse ore, per riflettere il vero tasso di deposizione di Mg nel vuoto. Il periodo di ritardo caso per caso differisce tra le varie configurazioni di installazione dei cristalli in una camera a vuoto ed è in generale inversamente proporzionale al tasso di deposizione di Mg. Si nota inoltre che il ritardo del Mg è più significativo utilizzando elettrodi a cristallo di lega rispetto agli elettrodi a cristallo d'oro.

In precedenza non esisteva alcuna soluzione per il rilevamento rapido del Mg nel settore OLED. Gli utenti hanno dovuto aggirare questo problema di ritardo del Mg prerivestindo i cristalli con Mg nella stessa camera a vuoto prima dell'effettivo monitoraggio della deposizione. Questa fase aggiuntiva di pre-rivestimento con Mg richiede molto tempo e grava sul cliente con materiali costosi e sprecati. Inoltre, questa procedura di prerivestimento non può essere eseguita da INFICON o da altri produttori di cristalli poiché il rivestimento di Mg non può sopravvivere all'esposizione all'atmosfera durante il trasporto o lo stoccaggio. È ora disponibile una nuova soluzione nella tecnologia dei cristalli che rende il rilevamento del Mg veloce e stabile senza la procedura di prerivestimento costosa e dispendiosa in termini di tempo.

Per sviluppare la linea di cristalli OLED sensibili al magnesio INFICON, è stata eseguita un'indagine dettagliata su tutti i componenti dei parametri di produzione e lavorazione dei cristalli, tra cui la forma e la finitura del cristallo, lo spessore dell'elettrodo, i materiali degli elettrodi e la velocità di rivestimento dell'elettrodo. I materiali e i parametri del processo sono stati ottimizzati fabbricando un'ampia varietà di cristalli, testandoli e analizzando attentamente i risultati. Utilizzando materiali ottimizzati e parametri di processo comprovati sia nella ricerca che negli studi sul campo, sono nati i cristalli OLED sensibili al magnesio INFICON. Questi e tutti i cristalli INFICON, Maxtek e Fil-Tech sono fabbricati presso INFICON EDC, Inc. in Kansas, USA. INFICON offre attualmente materiali per elettrodi in oro e leghe per la linea OLED Crystal Standard Mg Sensitive. Inoltre, per entrambi i materiali degli elettrodi è disponibile anche una linea di cristalli sensibili al magnesio di qualità superiore e più stabili (che sono essenzialmente privi di cali di attività). I numeri di parte per le linee High Grade e Standard di cristalli OLED Mg Sensitive sono elencati nella tabella seguente.